ASML首臺YieldStar 385系統(tǒng)正式交付：適配3nm制程芯片檢測

1月21日消息 據(jù)微博 @科創(chuàng)版日報 消息，ASML 昨日交付了第一臺 YieldStar 385 檢測系統(tǒng)。這款產(chǎn)品具備更快速的工作臺以及更快的波長切換功能，與此前型號相比具備最新的測量技術(shù)，提高了測量速度和準(zhǔn)確度，可滿足 3nm 制程要求。

YieldStar 385 并不是光刻機，而是用于制造好晶圓檢測的裝置，可用于各種工藝下的測量，定位有損壞的部分。目前的 YieldStar 380G 系統(tǒng)，采用 425nm 至 885nm 波長的光源進(jìn)行檢測，中心精度可達(dá) 1nm，并且支持聚焦于不同的深度，檢查芯片不同層的良率。

ASML 沒有透露這款產(chǎn)品的銷售對象，但 IT 之家此前曾報道，臺積電表示將于今年開始 3nm 芯片的研發(fā)制造，預(yù)計于 2022 年實現(xiàn)量產(chǎn)。

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